烘箱過程MES管理系統400度高溫無塵無氧

450度高溫無氧烤箱采用智能烘箱過程管理系統，由上海旦順實業有限公司自主研發，基于TCP/ip協議，與工廠系統對接，實現自動化烘烤，過程管理?？刂品奖?、操作簡單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構造，大大提高生產效力！

450度高溫無氧烤箱主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗。

450度高溫無氧烤箱主要技術指標 

1、潔凈等級：Class100級

2、含氧量：<=20PPM

3、使用溫度：RT～400℃，最高溫度：450℃；  

4、腔體數量:2個,上下布置；獨立控溫

5、爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶

6、空爐升溫時間：1.5h；

7.空爐降溫時間：375℃--80℃；降溫時間1.5-3.5小時 (采用水冷及風冷)；

8.智能控制系統：日本歐姆龍PCL+PC工控電腦

智能控制系統特點：

◆ 可接入MES和ERP通訊

◆ 權限分級管理，給每個管理者、工程師、操作員獨立用戶名和密碼

◆ 智能控制系統,歷史數據、操作、報警，事件等等數據查詢，記憶操作步驟，操作便捷

◆ PC 內部記錄數據，使用 Excel 等常用軟件可以讀取，最短數據記錄間隔5S；

工藝線標準 
1、在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃ 
2、200℃狀態下恒溫45分鐘 
3、再40min升到375℃ 
4、375℃恒溫1H 
5、最后以每分鐘3-5℃的降溫速率，79min左右從375℃降到75℃ 

烘箱過程MES管理系統400度高溫無塵無氧

公司名稱：上海旦順實業有限公司